特性

• 串行接口：BiSS® C、FANUC、Mitsubishi、Panasonic、Siemens DRIVE-CLiQ®、Yaskawa
• 读数头尺寸：36 x 16.5 x 17.2 mm
• 100 m/s时分辨率达1 nm
• 20 °C时5 m长度内精度为±4 µm
• 20 °C时的栅尺热膨胀系数：10.1 ±0.2 µm/m/°C
• 提供真空兼容和侧面电缆出口型号

优点

• 高精度直线硬栅尺
• 优异的运动控制性能
• 超强的抗污能力
• 宽松的安装公差
• RMS抖动低于10 nm，提高了位置控制稳定性
• ±40 nm电子细分误差，可实现稳定的速度控制
• 高级诊断工具选件